








2025-10-29 01:20:32
針對(duì)機(jī)械行業(yè)多樣化的工況,新巴頓分子泵軸承采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。深溝球軸承結(jié)構(gòu)適用于低載荷高速場(chǎng)景(如實(shí)驗(yàn)室小型分子泵),其游隙控制在 C2 級(jí),保證轉(zhuǎn)速達(dá) 50000rpm 時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)精度;角接觸軸承則用于需要承受軸向載荷的機(jī)械系統(tǒng)(如大型真空冶煉設(shè)備),通過配對(duì)使用可承受雙向軸向力,軸向剛度提升 30% 以上。在磁懸浮分子泵中,軸承與磁懸浮系統(tǒng)的配合間隙控制在 5-10μm,既滿足機(jī)械支撐需求,又避免電磁干擾。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使軸承在機(jī)械行業(yè)的真空泵啟動(dòng)階段(0-3000rpm 加速過程)能有效抑制振動(dòng),振幅控制在 50μm 以內(nèi),保障設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)性。巴頓分子泵軸承——科研探索的精密之選 。上海巴頓C1608X205Y32分子泵軸承

推力圓柱滾子軸承的軸向定位技術(shù)分子泵轉(zhuǎn)子的軸向定位精度要求通常在 5-10μm,新巴頓的 81100 系列推力圓柱滾子軸承采用研磨級(jí)推力墊圈,其平行度誤差≤1μm,配合軸向預(yù)緊彈簧,可將轉(zhuǎn)子軸向竄動(dòng)量控制在 3μm 以內(nèi)。在某電子束蒸發(fā)設(shè)備中,該軸承與徑向支撐軸承形成剛性定位系統(tǒng),確保蒸發(fā)源與基片的間距波動(dòng)不超過 5nm,滿足光學(xué)薄膜厚度的精密控制需求。軸承的滾子端面采用圓弧修形(曲率半徑 50mm),避免邊緣接觸導(dǎo)致的應(yīng)力集中,使軸向載荷均勻分布。浙江VAC607AD012分子泵軸承集成傳感器模塊,新巴頓分子泵軸承助力機(jī)械智能化監(jiān)測(cè)與維護(hù)。

行業(yè)定制優(yōu)勢(shì):精確適配各領(lǐng)域需求,新巴頓針對(duì)不同行業(yè)的特殊需求,提供專業(yè)化的定制解決方案。面向半導(dǎo)體行業(yè),推出通過 SEMI S2 認(rèn)證的軸承產(chǎn)品,其總揮發(fā)性有機(jī)物(TVOC)含量低于 40ppb;為** CT 設(shè)備定制的軸承,符合 ISO 13485 標(biāo)準(zhǔn),采用電解拋光工藝使表面粗糙度 Ra 值達(dá)到 0.03μm,滿足滅菌要求;針對(duì)紡織機(jī)械,研發(fā)出表面經(jīng) TD 處理(硬度 HV3200)的軸承,有效抵御纖維粉塵磨損。某化纖生產(chǎn)企業(yè)使用定制軸承后,設(shè)備運(yùn)行效率提升了 15%,維護(hù)成本降低了 65%,充分體現(xiàn)了定制化產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)。
分子泵軸承作為真空系統(tǒng)主要部件,承擔(dān)著支撐高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子、確保真空腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定的關(guān)鍵作用。其工作環(huán)境通常要求轉(zhuǎn)速高達(dá) 10 萬(wàn) - 15 萬(wàn)轉(zhuǎn) / 分鐘,因此對(duì)軸承的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性、耐磨性能及熱傳導(dǎo)性提出嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。在半導(dǎo)體制造中,分子泵軸承需維持納米級(jí)制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導(dǎo)致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司針對(duì)此類需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過優(yōu)化滾道弧度設(shè)計(jì),使軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的溫升控制在 30℃以內(nèi),滿足半導(dǎo)體設(shè)備 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行的可靠性要求。新巴頓分子泵軸承運(yùn)用前沿科技,實(shí)現(xiàn)高效分子傳輸,助力科研工業(yè)。

在機(jī)械行業(yè)中,分子泵軸承是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的主要部件,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)設(shè)備等領(lǐng)域。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司的分子泵軸承,針對(duì)機(jī)械行業(yè)高轉(zhuǎn)速、低摩擦的工況需求,采用特殊材料與精密加工工藝。例如在半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備中,分子泵需維持 10??Pa 以下的高真空度,該軸承通過優(yōu)化滾道設(shè)計(jì),可承受高速旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力,同時(shí)降低發(fā)熱損耗,確保泵體長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。其適配的機(jī)械類型涵蓋渦輪分子泵、復(fù)合分子泵等,能滿足不同真空系統(tǒng)對(duì)軸承可靠性的嚴(yán)苛要求,為機(jī)械行業(yè)的真空工藝提供基礎(chǔ)保障。巴頓分子泵軸承專業(yè)定制服務(wù),滿足個(gè)性化需求。浙江VAC607AD012分子泵軸承
定制化服務(wù),新巴頓分子泵軸承滿足客戶多樣特殊需求。上海巴頓C1608X205Y32分子泵軸承
對(duì)于面臨輻射環(huán)境的機(jī)械行業(yè)(如核工業(yè)、加速器設(shè)備),新巴頓分子泵軸承采用耐輻射材料。陶瓷軸承(Si?N?)在 γ 射線輻射劑量達(dá) 10?Gy 時(shí),強(qiáng)度保持率≥90%;潤(rùn)滑劑使用全氟聚醚(PFPE),耐輻射劑量達(dá) 10?Gy,避免因輻射導(dǎo)致的油脂分解。在核反應(yīng)堆的真空監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中,這種軸承可在輻射環(huán)境下連續(xù)工作 5 年以上,無需更換,降低特殊機(jī)械的維護(hù)難度與輻射暴露風(fēng)險(xiǎn)。材料的耐輻射測(cè)試通過專業(yè)機(jī)構(gòu)認(rèn)證(如中科院上海應(yīng)用物理研究所檢測(cè)),確保在極端工況下的機(jī)械可靠性。上海巴頓C1608X205Y32分子泵軸承